我國(guó)在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域取得重大突破，成功研發(fā)出國(guó)內(nèi)首臺(tái)全自動(dòng)晶圓探針臺(tái)。這一成果標(biāo)志著中國(guó)在高端半導(dǎo)體測(cè)試裝備領(lǐng)域邁出了堅(jiān)實(shí)的一步，為推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)自主可控奠定了重要基礎(chǔ)。長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所（長(zhǎng)春光機(jī)所）在這一技術(shù)開(kāi)發(fā)過(guò)程中發(fā)揮了關(guān)鍵作用，為設(shè)備的成功研發(fā)提供了核心技術(shù)支持。

全自動(dòng)晶圓探針臺(tái)是半導(dǎo)體制造過(guò)程中的關(guān)鍵設(shè)備之一，主要用于晶圓測(cè)試階段，能夠自動(dòng)完成晶圓的定位、探針接觸及電性能測(cè)試等任務(wù)。傳統(tǒng)設(shè)備依賴進(jìn)口，不僅成本高昂，還面臨技術(shù)封鎖風(fēng)險(xiǎn)。此次國(guó)產(chǎn)全自動(dòng)晶圓探針臺(tái)的成功研發(fā)，不僅填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白，還大幅降低了相關(guān)產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)成本，提升了產(chǎn)業(yè)鏈的穩(wěn)定性。

長(zhǎng)春光機(jī)所在研發(fā)過(guò)程中，憑借其在光學(xué)精密儀器和自動(dòng)化控制領(lǐng)域的深厚積累，攻克了多項(xiàng)技術(shù)難題，包括高精度運(yùn)動(dòng)控制、快速定位算法以及探針與晶圓的精確對(duì)接技術(shù)。團(tuán)隊(duì)通過(guò)優(yōu)化機(jī)械結(jié)構(gòu)與控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了設(shè)備的高效、穩(wěn)定運(yùn)行，確保了測(cè)試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和可靠性。

這一成果的取得，離不開(kāi)國(guó)家政策的支持以及產(chǎn)學(xué)研各方的緊密合作。隨著國(guó)產(chǎn)全自動(dòng)晶圓探針臺(tái)的推廣應(yīng)用，將進(jìn)一步推動(dòng)我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主創(chuàng)新，助力高端制造轉(zhuǎn)型升級(jí)。長(zhǎng)春光機(jī)所表示，將繼續(xù)深耕技術(shù)研發(fā)，為國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體裝備的發(fā)展貢獻(xiàn)力量。